Simco-ion 5635 AeroBarMP 棒式离子静电消除器[产品打印页面]

适配扩展ISO Class1 10nm超净标准 5635型AeroBarMP棒式离子静电消除器是Simco-ion专为**半导体制造等对100nm以下微小颗粒管控有严苛要求的场景研发的超低颗粒除电产品，**适配半导体前工程晶圆前端传输系统（EFEM）的作业需求，符合RoHS认证标准，是超净制造环境中静电消除的核心解决方案。

核心产品优势

1. 超洁净电极，杜绝污染风险：搭载全球应用实绩**的单结晶硅可更换电极，兼具超低颗粒释放特性，从材质根源规避电极带来的金属污染问题，适配超净工艺要求。
2. **MP脉冲调制，除电效率拉满：采用专属脉冲调制（MP）技术，能将离子高效输送至除电目标物，配合电晕放电方式实现超高除电性能，满足高精度除电需求。
3. 近距可用，离子平衡高度均匀：具备小电位波动特性，*浅可在100mm近距离安装使用，且整根离子棒长度范围内离子平衡无明显偏差，除电效果更均匀。
4. 智能自控，免人工频繁干预：内置智能控制电路，可24小时自动监测并管理离子发生状态与离子平衡，无需人工实时调试，保障除电性能稳定。
5. 快拆电极，大幅降低维护成本：电极采用1/4旋转快拆设计，可快速完成更换，大幅减少设备维护的工时与操作难度，提升产线稼动率。
6. 电位波动小，部署与运维更简便：MP脉冲调制技术带来极小的电位波动，不仅让设备初次调试设置更简单，还能长期将离子平衡稳定在管理基准范围内，减少后期校准工作。
7. 定制化长度，适配半导体EFEM工艺：离子棒长度可根据半导体前工程晶圆前端传输系统（EFEM）的实际作业需求定制，**匹配产线布局。
8. 紧凑集成设计，安装灵活：内置24V DC驱动控制器，设备结构更紧凑，无需额外配置控制模块，节省安装空间，适配各类产线布局。
9. 全球服务网络，支持有保障：依托品牌全球化的高水准技术支持网络，可快速响应各地的技术咨询与售后需求，设备使用无后顾之忧。

详细规格参数

扩展ISO Class1 10nm超净标准说明

扩展ISO Class1 10nm是ION Systems为满足微小颗粒精细化管理需求独立制定的洁净度标准，区别于常规ISO14644-1（*小定义粒径100nm），该标准沿用ISO14644-1的允许颗粒数计算公式，对10nm及以上粒径的颗粒管控标准为：允许颗粒数≤1200个/立方米（34个/立方英尺），**适配半导体等**制造对超微颗粒的管控要求。

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