SIMCO-ION 5225 AeroBar 超净工艺离子棒[产品打印页面]

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产品名称: SIMCO-ION 5225 AeroBar 超净工艺离子棒

产品型号:

产品展商: 日本SIMCO

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简单介绍

SIMCO-ION 5225 AeroBar 超净工艺离子棒 的详细介绍

SIMCO-ION 5225 AeroBar 超净工艺离子棒

SIMCO-ION 5225 AeroBar离子棒是专为半导体等超洁净工艺设备研发的棒式静电消除器，适配ISO Class1（0.1微米）的超高洁净度环境，凭借全数字化控制、双模式离子发生技术及精准的离子平衡反馈控制，成为半导体前工程EFEM等超净制程的专业除电解决方案。

产品核心优势

超洁净低污染电极：搭载全球广泛应用的单晶硅电极，兼具超低颗粒释放特性，从根源规避电极材料造成的金属污染风险，完全适配超净工艺的无尘要求。
双模式广域除电：支持脉冲DC离子发生方式，具备大范围静电消除能力，同时可选稳态DC模式，可根据制程需求灵活切换，除电效率与适配性兼备。
全数字稳定控电：采用全数字电路控制技术，实现离子发生的高度稳定，且能长期维持精准的离子平衡，避免静电残留影响制程良率。
双模式离子平衡控制：可选配5200-SR外部传感器，直接对除电目标附近的离子平衡进行反馈控制；未连接外部传感器时，设备内置传感器将自动调节离子平衡，双重保障除电精度。
定制化尺寸适配：提供贴合半导体前工程EFEM设备的专属长度规格，无需额外适配即可无缝集成，降低安装与调试成本。
全参数灵活可调：离子发生输出、离子发生时间、报警阈值等核心参数均可在宽范围设定，能灵活适配长距离除电、弱气流等特殊工艺环境。
快速精准部署：仅需数值输入即可完成参数设定，具备高度的参数重现性，大幅缩短设备调试与产线切换的时间。
智能监控与报警：除基础的报警IO功能外，可通过厂商免费提供的DLL组件实现设备状态的实时监控，助力工艺设备内的运行状态精准把控。

5225 AeroBar 离子棒核心规格

参数项	技术指标
输入电压	24V AC，50/60Hz，典型功耗1W（由5200-IM6T接口模块供电）
通信形态	RS485（5200-IM6T与5225之间通信）
输出电压	0kV～约±20kV
输出形态	脉冲DC模式、稳态DC模式（可选择）
输出电流	<15微安，内置电流及电压限制电路
连接连接器	RJ11，4极4芯
离子发生时间	小0.1秒，大10秒，正、负离子可单独设定
电极	单晶硅电极，支持更换
臭氧发生量	<0.005ppm（24小时累计测量值）
对应洁净度	ISO Class1，0.1微米
设备尺寸	高53mm × 深31mm × 长569mm(-22)/721mm(-28)/907mm(-36)/1128mm(-44)/1412mm(-56)/1636mm(-64)/1918mm(-76)/2144mm(-84)
设备重量	-22规格：1.02kg，每额外增加30cm长度增重0.17kg
外装材质	ABS树脂

配套5200-IM6T 接口模块规格

5225 AeroBar离子棒需搭配5200-IM6T接口模块实现供电、通信与控制，单模块可支持多台离子棒组网，核心规格如下：

参数项	技术指标
输入电压	24V DC ±5%，1.5A
通信形态	Ethernet、RS232C
报警输出	继电器接点（仅V4.0及以上版本支持）
设备尺寸	高74mm × 深71mm × 长315mm
设备重量	2kg

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