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Hamamatsu滨松光子学膜厚测量系统[产品打印页面]

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产品名称: Hamamatsu滨松光子学膜厚测量系统
产品型号: C11295
产品展商: 日本Hamamatsu滨松光子学
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简单介绍

Multipoint NanoGauge 膜厚测量系统 C11295 是一种利用光谱干涉法的薄膜膜厚测量系统。作为半导体制造过程的一部分,它旨在测量薄膜厚度,以及用于对安装在半导体制造设备上的 APC 和薄膜进行质量控制。允许实时进行多通道测量,可在薄膜表面同时进行多通道测量和多点测量。同时,它还可以测量反射率(透射率)、物体色及其随时间的变化。


Hamamatsu滨松光子学膜厚测量系统  的详细介绍
型号 C11295-XX*1
可测量的薄膜厚度范围(玻璃) 20 nm 至 100 μm*2
测量重现性(玻璃) 0.02 nm*3 *4
测量精度(玻璃) ±0.4%*4 *5
光源 氙光源 *6
测量波长 320 nm 至 1000 nm
光斑尺寸 约 φ1 mm*4
工作距离 10 mm*4
可测量层数 *多 10 层
分析 FFT 分析、拟合分析
测量时间 19 ms/point*7
光纤连接器形状 SMA
测量点数 2 至 15
外部控制功能 以太网
接口 USB 2.0(主机 - 计算机)
RS-232C(光源 - 计算机)
电源 AC100 V 至 AC240 V,50 Hz/60 Hz
功耗 2 通道时:大约 350 VA,15 通道时:约 500 VA

滨松光子学株式会社总部位于静冈县滨松市,是一家主要产品包括光电倍增管、光学半导体器件以及图像处理和测量设备的制造商。静冈县内有七个生产基地,其中包括位于滨松市的总工厂。
1948年成立时名为东海电子研究所,1953年成立滨松电视株式会社,开始生产将光转换为电信号并检测电信号的光电管。1983年,公司名称变更为滨松光子学株式会社,并于1998年3月在东京证券交易所**部上市,至今仍在那里。
公司业务大致分为电子管业务、固态业务、系统业务、激光业务四大类。所有这些公司主要开发、制造和销售“发光”、“捕获光”和“测量光”的产品。具体产品包括光电二极管等光学传感器、LED 等光源以及配备 CMOS 和 CCD 的高性能相机。特别是在光传感器领域,光电倍增管自公司成立以来一直是代表产品,并为获得诺贝尔物理学奖做出了贡献,多年来不断发展,目前在全球市场占有率高达约90%。此外,光半导体器件、测量设备等种类繁多的产品被广泛应用于医学、工业、分析、测量、学术界等领域,被世界各地的制造商和研究机构所使用,正在全球扩张,海外市场约占其销售额的70%。

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